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    下載一種寬光譜柔性紅外探測器陣列及其制作方法的技術資料

    文檔序號:15510040

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    本發明涉及一種寬光譜柔性紅外探測器陣列,包括從下往上依次設置的柔性襯底層、支撐硅片層及敏感薄膜層;敏感薄膜層的上、下表面分別有一層金屬薄膜作為上、下電極,上、下電極的重疊區域構成有效敏感單元;所述敏感薄膜層由柔性熱釋電聚合物構成;同時還公開...
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