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一種微電子單元可包括半導(dǎo)體元件，所述半導(dǎo)體元件具有前表面、靠近前表面的微電子半導(dǎo)體器件、位于前表面的接觸部和遠離前表面的后表面。半導(dǎo)體元件可具有從后表面延伸穿過半導(dǎo)體元件并且穿過接觸部的通孔。介電層可鋪襯于通孔。導(dǎo)電層可層疊于通孔中的介電層...該專利屬于英聞薩斯有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過英聞薩斯有限公司授權(quán)不得商用。