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    下載鑄造多晶硅的熱場控制裝置的技術資料

    文檔序號:15673592

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    本實用新型涉及硅生產技術領域。一種鑄造多晶硅的熱場控制裝置,包括爐體,所述爐體的頂部和側壁都設有加熱機構,所述爐體內設有坩堝,所述爐體依次設有加熱區、梯度區和冷卻區,其特征在于,還包括驅動坩堝升降的坩堝升降機構,所述坩堝的底壁內表面設有黑色...
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