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    下載一種單晶爐底部加熱器的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):15673594

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    本實(shí)用新型提出一種單晶爐底部加熱器,通過采用橫截面相等的筋條作為底部加熱器的基本組成結(jié)構(gòu)單元,并對(duì)底部加熱器的形狀和結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),從而達(dá)到發(fā)熱均勻的目的。本實(shí)用新型技術(shù)方案保證了整個(gè)單晶爐內(nèi)熱場的底部溫度均衡,提高了晶體生長的質(zhì)量。...
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