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本發明公開了一種醫用微電容超聲換能器面陣探頭，包括硅襯底（1），所述硅襯底（1）的上表面為氧化層（2），所述氧化層（2）的上表面開設有若干空腔（3），若干空腔（3）成排、列布置，所述氧化層（2）的上表面鍵合振動薄膜（4），所述振動薄膜（4）...
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