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    下載一種納米電極陣列及其制備方法的技術資料

    文檔序號:15677892

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    本發明提供了一種納米電極陣列,該納米電極陣列包括其上均勻垂直設置等高硅尖陣列2的硅片襯底1,設置硅尖陣列2一側的硅片襯底1的表面和硅尖陣列2表面包覆金屬薄膜層3,位于硅尖陣列2峰頂的金屬薄膜層3設有納米顆粒4。該本發明中的納米電極陣列,體積...
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