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本發明提供了一種用于浸沒光刻設備中的傳感器、光刻設備和使用浸沒光刻設備的器件制造方法。所述傳感器包括構件，在傳感器的使用過程中所述構件接觸供給至與投影系統的最終元件相鄰的空間的浸沒液體；變換器，配置成將刺激轉換為電信號；溫度調節裝置，配置成...
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