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提供了抗反射硬掩模組合物。所述硬掩模組合物含有有機(jī)溶劑、引發(fā)劑、和由式Ａ、式Ｂ或式Ｃ表示的至少一種聚合物，這些在說明書中有描述。...該專利屬于第一毛織株式會(huì)社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過第一毛織株式會(huì)社授權(quán)不得商用。