溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明提供一種EFEM中的晶圓搬運部及裝載端口部的控制方法，其具有：將容器固定于所述裝載端口部的載置臺的工序；在關閉了主開口的狀態下，在載置于所述載置臺上的所述容器的底面上所形成的多個底孔連接所述裝載端口部的底部嘴，經由所述底部嘴向所述容器...
該專利屬于TDK株式會社所有，僅供學習研究參考，未經過TDK株式會社授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。