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本發明提供的壓環、預清洗腔室及半導體加工設備，其應用在預清洗腔室中，在該預清洗腔室內設置有基座，該基座包括用于承載晶片的承載面。壓環用于利用自身重力壓住晶片上表面的邊緣區域，從而實現對所述晶片的固定；并且，通過向承載面與晶片的下表面之間輸送...該專利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司授權不得商用。