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本發明涉及一種薄膜晶體管的制備方法，包括如下步驟：在基板上形成有源層；在形成有有源層的基板上形成柵極絕緣層；對柵極絕緣層進行圖形化，以形成垂直于基底的第一刻蝕槽及第二刻蝕槽；在柵極絕緣層上形成金屬層，且金屬層覆蓋第一刻蝕槽及第二刻蝕槽；對金...該專利屬于信利（惠州）智能顯示有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過信利（惠州）智能顯示有限公司授權不得商用。
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本發明涉及一種薄膜晶體管的制備方法，包括如下步驟：在基板上形成有源層；在形成有有源層的基板上形成柵極絕緣層；對柵極絕緣層進行圖形化，以形成垂直于基底的第一刻蝕槽及第二刻蝕槽；在柵極絕緣層上形成金屬層，且金屬層覆蓋第一刻蝕槽及第二刻蝕槽；對金...