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    下載高擊穿電壓的氮化鎵高電子遷移率晶體管及其形成方法的技術資料

    文檔序號:15693036

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    一種具有高擊穿電壓的氮化鎵高電子遷移率晶體管及其形成方法,所述高電子遷移率晶體管包括:襯底;位于所述襯底上的氮化鎵溝道層;位于所述氮化鎵溝道層上的第一勢壘層;位于所述第一勢壘層上的柵極、源極和漏極,所述源極和漏極分別位于所述柵極的兩側;位于...
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