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    下載基于多周期量子阱結構的HEMT器件的技術資料

    文檔序號:15693037

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    本發明公開了一種基于多周期量子阱結構的HEMT器件,包括襯底,襯底上生長緩沖層,緩沖層上生長量子阱有源層;量子阱有源層包括:勢壘層、隔離層、溝道層和缺陷層;量子阱有源層上設置源極、漏極和柵極,柵極位于量子阱有源層的中間,源極和漏極位于量子阱...
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