溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及一種SiGe基頻率可重構套筒偶極子天線的制備方法。該方法包括:選取SiGeOI襯底;在SiGeOI襯底上按照套筒偶極子天線的結構制作多個SPiN二極管串;制作直流偏置線以連接SPiN二極管串與直流偏置電源;制作SPiN二極管天線臂...該專利屬于西安科銳盛創新科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過西安科銳盛創新科技有限公司授權不得商用。
溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及一種SiGe基頻率可重構套筒偶極子天線的制備方法。該方法包括:選取SiGeOI襯底;在SiGeOI襯底上按照套筒偶極子天線的結構制作多個SPiN二極管串;制作直流偏置線以連接SPiN二極管串與直流偏置電源;制作SPiN二極管天線臂...