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    下載SiGe基頻率可重構套筒偶極子天線的制備方法的技術資料

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    本發明涉及一種SiGe基頻率可重構套筒偶極子天線的制備方法。該方法包括:選取SiGeOI襯底;在SiGeOI襯底上按照套筒偶極子天線的結構制作多個SPiN二極管串;制作直流偏置線以連接SPiN二極管串與直流偏置電源;制作SPiN二極管天線臂...
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