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一種用于TEM樣品制備和分析的方法，該方法可以用于FIB?SEM系統(tǒng)中，而不需要對(duì)薄層或機(jī)動(dòng)化的翻轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行重焊、卸載、用戶處理。該方法允許具有典型傾斜臺(tái)的雙束FIB?SEM系統(tǒng)用于提取樣品以形成襯底、將樣品安裝至能夠傾斜的TEM樣品支座上、...該專利屬于FEI公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)FEI公司授權(quán)不得商用。