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本申請公開了一種用于金屬線的CMP漿料組合物及使用其的拋光方法，具體涉及用于拋光金屬線的CMP漿料組合物及使用其的拋光方法。該CMP漿料組合物包含拋光顆粒、氧化劑、絡合劑、腐蝕抑制劑和去離子水，其中，腐蝕抑制劑包含選自由亞硝酸鹽和硝酸銨組成...
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