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本發明提供一種微酸性條件下的堿性玻璃拋光液，其特征在于：拋光液的有效成份為稀土氧化物，以及一種有機和/或無機緩沖液，使拋光液保持pH在5?8之間。該拋光液用于含硅化合物以及其它各種氧化物或半導體或導體、玻璃制品、單晶硅表面、芯片生產的絕緣氧...
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