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本發明提供了一種懸浮陽極及帶有懸浮陽極的磁控濺射裝置，該懸浮陽極包括：陽極主體，所述陽極主體內部為空心結構，且所述陽極主體由陽極部分及兩個陽極主體支撐端組成；所述陽極部分包括水平部及分別與所述水平部相互連通的兩個豎直部；所述兩個陽極主體支撐...該專利屬于大連愛瑞德納米科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過大連愛瑞德納米科技有限公司授權不得商用。
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