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本發(fā)明提供用于襯底處理噴淋頭的混合型陶瓷花盤的各種實施方案。混合型陶瓷噴淋頭花盤可包括嵌入于該花盤的陶瓷材料內(nèi)的電極以及穿孔圖案。該電極可是相對于穿孔完全封裝于該陶瓷材料內(nèi)。在某些實施方案中，加熱器元件也可嵌入于該混合型陶瓷噴淋頭花盤內(nèi)。在...該專利屬于諾發(fā)系統(tǒng)公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過諾發(fā)系統(tǒng)公司授權(quán)不得商用。