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本發(fā)明公開(kāi)了一種基于DMD的掃描式光刻機(jī)灰度圖像曝光方法，通過(guò)DMD控制器完成灰度曝光圖像的分割和拼接，從而高速生成DMD灰度調(diào)制實(shí)時(shí)曝光圖像，并根據(jù)曝光圖像對(duì)DMD進(jìn)行基于二元脈沖寬度的灰度調(diào)制，盡量縮短調(diào)制基準(zhǔn)時(shí)間，提高DMD灰度曝光幀...該專(zhuān)利屬于電子科技大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)電子科技大學(xué)授權(quán)不得商用。