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本發明揭露一種用于制造半導體的機構、系統及方法。本發明的實施例提供的半導體制造機構包含制程腔、晶圓座、第一化學物輸送機構，及第二化學物輸送機構。其中晶圓座配置于制程腔內，且晶圓座操作于固定晶圓并以中心軸為圓心旋轉多個晶圓。第一化學物輸送機構...該專利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過臺灣積體電路制造股份有限公司授權不得商用。
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本發明揭露一種用于制造半導體的機構、系統及方法。本發明的實施例提供的半導體制造機構包含制程腔、晶圓座、第一化學物輸送機構，及第二化學物輸送機構。其中晶圓座配置于制程腔內，且晶圓座操作于固定晶圓并以中心軸為圓心旋轉多個晶圓。第一化學物輸送機構...