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    下載一種柔性溫度壓力傳感器的技術資料

    文檔序號:15721814

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    本發明提供了一種柔性溫度壓力傳感器,包括上下對稱布置的第一襯底和第二襯底,以及依次布置在第一襯底與第二襯底之間的第一電極、溫敏層、中間電極、壓敏層和第二電極;第一電極和第二電極均為叉指形狀,中間電極為平面形狀。與現有技術相比,本發明提供的一...
    該專利屬于中國電力科學研究院;國家電網公司;國網北京市電力公司;中國科學院微電子研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國電力科學研究院;國家電網公司;國網北京市電力公司;中國科學院微電子研究所授權不得商用。

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