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本實用新型提供了一種定位系統以及曝光定位系統，涉及曝光技術領域，包括橫向滑道機構、縱向滑道機構、轉動滑道機構；橫向滑道機構通過沿橫向的運行幅度，調節與固定定位目的物的位置；縱向滑道機構通過沿縱向的運行幅度，調節與固定所述定位目的物的位置；轉...該專利屬于天津津芯微電子科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過天津津芯微電子科技有限公司授權不得商用。
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