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一種用于制造用于噴射流體(6)的裝置(1)的方法，包括產生噴嘴板(8)的步驟，產生噴嘴板(8)的步驟包括以下步驟：在第一半導體本體(31,35)中形成具有第一直徑(d1)的第一噴嘴空腔(35’；35”)；至少部分地在第一噴嘴空腔(35’；3...
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