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    下載場(chǎng)效應(yīng)晶體管、生物傳感器及其制造方法的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):20008849

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    提供一種能夠減小噪聲、通過簡(jiǎn)化的制造方法進(jìn)行制造并且還具有根據(jù)檢測(cè)目的而被設(shè)計(jì)為可組合的多個(gè)有源圖案和多個(gè)柵極圖案的場(chǎng)效應(yīng)晶體管、包括該場(chǎng)效應(yīng)晶體管的生物傳感器、制造該場(chǎng)效應(yīng)晶體管的方法以及制造該生物傳感器的方法。所述場(chǎng)效應(yīng)晶體管包括:下硅...
    該專利屬于韓國(guó)科學(xué)技術(shù)研究院所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過韓國(guó)科學(xué)技術(shù)研究院授權(quán)不得商用。

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