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提供了蝕刻劑組合物，包含10wt％至20wt％的過氧化氫、0.1wt％至2wt％的基于唑的化合物、0.1wt％至10wt％的無機酸化合物、0.1wt％至5wt％的水面穩定劑、0.01wt％至0.1wt％的氟化物、0.1wt％至10wt％的基...該專利屬于三星顯示有限公司;株式會社東進世美肯所有，僅供學習研究參考，未經過三星顯示有限公司;株式會社東進世美肯授權不得商用。
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