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電容傳感器（１）包含一線性或曲線電極陣列（１０），可以精確確定測試盤（２）和傳感器（１）之間的相對位置。由于傳感器可以被集成在半導(dǎo)體印模上，且刻度可以很窄，所以可以極端小型化并且成本很低。...該專利屬于漢斯.烏爾里希.邁耶所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過漢斯.烏爾里希.邁耶授權(quán)不得商用。
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電容傳感器（１）包含一線性或曲線電極陣列（１０），可以精確確定測試盤（２）和傳感器（１）之間的相對位置。由于傳感器可以被集成在半導(dǎo)體印模上，且刻度可以很窄，所以可以極端小型化并且成本很低。...