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本發(fā)明涉及檢查方法和系統(tǒng)，其用于提供一種檢查晶圓（９００，１２５０）的最佳方式。此方法和系統(tǒng)包含有晶圓與光罩對準(zhǔn)，層與層對準(zhǔn)以及晶圓表面特征檢查。通過在已有的對準(zhǔn)記號（１０２，１０４，２１０Ａ，２１０Ｂ，２１０Ｃ，２１０Ｄ）上增加額外的對角...該專利屬于先進(jìn)微裝置公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過先進(jìn)微裝置公司授權(quán)不得商用。