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公開了一種法拉第系統，其中該法拉第系統包括用于聚集離子束以產生電流的法拉第筒，用于鄰近于法拉第筒的入口形成電場，以防止響應于離子束從法拉第筒釋放二次電子的抑制電極，以及圍繞法拉第筒和抑制電極以及包括大量孔徑的外殼，其中每個孔徑適合于有選擇地...
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