溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明的目的是提供一種使用包括電反射鏡和ｆθ透鏡的光學(xué)系統(tǒng)的精簡(jiǎn)的激光照射裝置以及激光照射方法，所述激光照射裝置可以抑制由因襯底背面的次級(jí)射束引起的干涉影響，從而能夠?qū)Ρ徽丈湮镞M(jìn)行均勻的激光退火，且可以提高生產(chǎn)量。在本發(fā)明中，當(dāng)假設(shè)形成有被...該專利屬于株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所授權(quán)不得商用。