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一種形成疊合標記的方法，其特征是，該方法包括：　　　　在一基底上形成一材料層；　　　　圖案化該材料層，以形成一外部標記；　　　　在該材料層的表面上形成一第一膜層；　　　　進行一平坦化步驟，以移除部分該第一膜層；　　　　在該材料層上形成一第二...
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