溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
一種形成疊合標(biāo)記的方法，其特征在于，包括： 在一基底上形成一材料層； 圖案化該材料層，以形成一外部標(biāo)記，并且同時(shí)形成一分散應(yīng)力圖案，該分散應(yīng)力圖案將該外部標(biāo)記包圍起來； 在該材料層表面形成一第一膜層； 進(jìn)行一平坦化步...該專利屬于旺宏電子股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過旺宏電子股份有限公司授權(quán)不得商用。