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本發明提供一種MEMS熱泡打印頭加熱結構及其制作方法，包括：基底，基底表面具有下絕緣層；電阻材料層及導電材料層，形成于基底上；第一腐蝕槽，形成于導電材料層中并顯露電阻材料層，第一腐蝕槽的側壁呈具有第一傾角的斜面；第二腐蝕槽，形成于導電材料層...該專利屬于上海新微技術研發中心有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海新微技術研發中心有限公司授權不得商用。
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本發明提供一種MEMS熱泡打印頭加熱結構及其制作方法，包括：基底，基底表面具有下絕緣層；電阻材料層及導電材料層，形成于基底上；第一腐蝕槽，形成于導電材料層中并顯露電阻材料層，第一腐蝕槽的側壁呈具有第一傾角的斜面；第二腐蝕槽，形成于導電材料層...