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本發明公開了一種膜層厚度表征方法，包括：提供一具有多個膜層疊層的測試樣品；獲取各所述膜層的電子能量損失譜，依據所述電子能量損失譜中各所述膜層的強度信號，得到能量損失區間；在透射電子顯微鏡的能量過濾模式下，選取所述能量損失區間中的能量損失值作...該專利屬于上海集成電路研發中心有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海集成電路研發中心有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種膜層厚度表征方法，包括：提供一具有多個膜層疊層的測試樣品；獲取各所述膜層的電子能量損失譜，依據所述電子能量損失譜中各所述膜層的強度信號，得到能量損失區間；在透射電子顯微鏡的能量過濾模式下，選取所述能量損失區間中的能量損失值作...