溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本申請(qǐng)案涉及一種雙面墊調(diào)節(jié)器。一種CMP墊調(diào)節(jié)器組合件包含背板，其包含包括多個(gè)第一安裝位置的第一面及包括多個(gè)第二安裝位置的第二面。多個(gè)段固定到所述第一面。所述段包含具有第一表面及與所述第一表面相對(duì)的第二表面的襯底。多個(gè)突起與所述襯底一體化以...該專利屬于恩特格里斯公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過恩特格里斯公司授權(quán)不得商用。