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    下載一種高速響應全透明柔性紫外光電探測器的制備方法的技術資料

    文檔序號:36700855

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    本申請公開了一種高速響應全透明柔性紫外光電探測器的制備方法,涉及光電探測技術領域。包括以下步驟:利用射頻磁控濺射沉積法將ZnO光敏薄膜或InGaZnO光敏薄膜、透明導電電極薄膜依次沉積到高透明柔性PI襯底上,構建了全透明柔性紫外光電探測器。...
    該專利屬于西安交通大學所有,僅供學習研究參考,未經過西安交通大學授權不得商用。

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