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本實用新型公開了一種半導體快速退火爐結構，包括機架，機架的內部設有機械手，在機械手的左右兩側各安裝有加熱器，在正對機械手的后方設有定位器，在正對機械手的前方為載片臺內門和載片臺外門，晶圓裝載在晶圓容納器中，晶圓容納器放入載片臺內門和載片臺外...
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