溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供了一種超級結結構及其制備方法，該超級結結構包括：襯底、外延層，以及位于外延層背離襯底一側的凹槽；外延層包括多個分壓層和圍繞凹槽的摻雜區域，分壓層相鄰凹槽的一側延伸至摻雜區域內，襯底與外延層的摻雜類型相同，襯底與分壓層的摻雜類型不同...該專利屬于北京世紀金光半導體有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京世紀金光半導體有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供了一種超級結結構及其制備方法，該超級結結構包括：襯底、外延層，以及位于外延層背離襯底一側的凹槽；外延層包括多個分壓層和圍繞凹槽的摻雜區域，分壓層相鄰凹槽的一側延伸至摻雜區域內，襯底與外延層的摻雜類型相同，襯底與分壓層的摻雜類型不同...