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本發明提供一種用于化學氣相沉積機的基座加熱器塊，其特征在于，表面設置有真空施加結構以通過真空吸附固定晶圓，具有用于向晶圓背面供應溫度均勻化用氣體的供氣孔和用于加熱晶圓的電熱絲，所述電熱絲的設置成在相當于晶圓中心部的加熱器塊的中心部大于其外側...
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