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    下載一種脈沖陽極氧化工藝制作的長波長通訊用GaInNAs半導體激光器芯片的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：3831837
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明涉及一種制造半導體激光器芯片絕緣膜層的技術，該技術屬于半導體發光器件的介質膜制造領域。傳統制造絕緣膜層的技術應用熱蒸發、濺射或各種ＣＶＤ技術，在器件外延片表面沉積ＳｉＯ↓［２］或Ｓｉ↓［３］Ｎ↓［４］薄層作為絕緣膜，這些傳統技術及其所...
    該專利屬于長春理工大學所有，僅供學習研究參考，未經過長春理工大學授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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