溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
提供能得到曝光靈敏度優(yōu)異的抗蝕劑的、化合物、聚合物、組合物、膜形成用組合物、圖案形成方法、絕緣膜的形成方法及化合物的制造方法。下述式(1)所示的化合物。(式(1)中,R...
該專利屬于三菱瓦斯化學(xué)株式會社所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過三菱瓦斯化學(xué)株式會社授權(quán)不得商用。
溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
提供能得到曝光靈敏度優(yōu)異的抗蝕劑的、化合物、聚合物、組合物、膜形成用組合物、圖案形成方法、絕緣膜的形成方法及化合物的制造方法。下述式(1)所示的化合物。(式(1)中,R