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本發明涉及一種氧化鋁陶瓷靶材及其制備方法與應用，所述制備方法包括如下步驟：(1)將純度≥4N、平均粒徑為0.1?1μm的氧化鋁粉進行冷等靜壓處理，所得素坯料經數控加工處理，得到氧化鋁坯料；(2)步驟(1)所得氧化鋁坯料依次經包套焊接處理、脫...該專利屬于上海戎創鎧迅特種材料有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海戎創鎧迅特種材料有限公司授權不得商用。
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本發明涉及一種氧化鋁陶瓷靶材及其制備方法與應用，所述制備方法包括如下步驟：(1)將純度≥4N、平均粒徑為0.1?1μm的氧化鋁粉進行冷等靜壓處理，所得素坯料經數控加工處理，得到氧化鋁坯料；(2)步驟(1)所得氧化鋁坯料依次經包套焊接處理、脫...