溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明公開了一種基于反射式斜向摩爾條紋位移檢測的微機械陀螺及其實現方法，屬于光學檢測領域。該機構由結構層和基底構成。結構層上的敏感移動梳齒和基底上的敏感固定梳齒構成一組測量光柵對，在光源照射下，產生幾何干涉，形成莫爾條紋。敏感移動梳齒在科氏...
該專利屬于西北工業大學所有，僅供學習研究參考，未經過西北工業大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。