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    下載一種陶瓷研磨盤及其制備方法和應用的技術資料

    文檔序號:41086110

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    本發明涉及襯底加工制造技術領域,特別涉及一種陶瓷研磨盤及其制備方法和應用。其中,一種陶瓷研磨盤,以質量百分比計,原料包括85%~95%的α?氧化鋁、2%~6%的晶界粘結劑、2.5%~8%的晶界強化劑及0.5%~1.5%的納米陶瓷粉體。通過采...
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