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    下載一種基于斐索干涉的波片相位延遲量測量裝置及方法的技術資料

    文檔序號:41595424

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    本發明公開了一種基于斐索干涉的波片相位延遲量測量裝置及方法。該裝置包括激光干涉儀、第一偏振分束器、第二偏振分束器、透射平晶、待測波片和反射平晶。方法為:首先將待測波片放入測量光路中,調整反射平晶的俯仰、傾斜角度,使得待測波片區域內干涉條紋數...
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