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    下載低漂移化學傳感器陣列的方法和裝置的技術資料

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    低漂移化學傳感器陣列的方法和裝置。一種片上的低基線漂移的SAW/LAW化學傳感器陣列及其形成方法。雙SAW延遲線包括:用來產生聲波的公共IDT,以及用來接收聲波的一對IDT。一個感測層或者一個參考層可以沉積在公共IDT的每一側上的位置中。一...
    該專利屬于霍尼韋爾國際公司所有,僅供學習研究參考,未經過霍尼韋爾國際公司授權不得商用。

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