溫馨提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供超疏水類金剛石碳基涂層，該涂層由氫化非晶硅底層，硅、氟共摻雜類金剛石過渡層和氟摻雜類金剛石頂層組成，通過如下步驟制得：利用激光在基材表面織構(gòu)出微納米結(jié)構(gòu)，而后沉積多層涂層，通過基材表面織構(gòu)化和沉積低表面能涂層兩種方式相結(jié)合，提升基...該專利屬于中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所授權(quán)不得商用。