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    下載半導(dǎo)體器件及其制造方法、存儲(chǔ)器系統(tǒng)的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):44422389

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    本申請實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體器件及其制造方法、存儲(chǔ)器系統(tǒng),其中,半導(dǎo)體器件包括:有源柱陣列,包括若干列有源柱和若干行有源柱;多條柵極結(jié)構(gòu),一條柵極結(jié)構(gòu)覆蓋至少一行有源柱的部分側(cè)壁;以及多條隔離結(jié)構(gòu),位于相鄰的兩條柵極結(jié)構(gòu)之間的兩行有源柱之間,...
    該專利屬于長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。

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