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本申請實施例提供了一種晶圓擦洗設備、晶圓擦洗系統和拋光設備，其中晶圓擦洗設備包括：擦洗刷和擦洗刷調控模塊；所述擦洗刷調控模塊設置在所述擦洗刷的背對晶圓的一側，并且包括朝向所述擦洗刷依次設置的伸縮模塊和磁吸模塊；所述擦洗刷包括第一轉軸和刷頭，...
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