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    下載一種提高粉料利用率的碳化硅單晶生長裝置及方法的技術資料

    文檔序號:44507998

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    本發明提供了一種提高粉料利用率的碳化硅單晶生長裝置及方法,包括加熱桶、坩堝和導熱組件,加熱桶包含相適配的上蓋與桶體,所述桶體的內部容納有坩堝,坩堝的底部設置有通孔,且桶體的底部設置有導熱棒,導熱棒延伸至坩堝內部;坩堝包含相適配的坩堝蓋和坩堝...
    該專利屬于山東大學所有,僅供學習研究參考,未經過山東大學授權不得商用。

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